КАНТИЛЕВЕР С НАНОРАЗМЕРНЫМ АЛМАЗОПОДОБНЫМ УГЛЕРОДНЫМ ПОКРЫТИЕМ ДЛЯ ТОКОВОЙ НАНОЛИТОГРАФИИ

1. Кантилевер для токовой нанолитографии, представляющий собой основание, к которому прикреплена балка, на дальнем от основания конце которой расположена игла, с нанесенным на поверхность кантилевера алмазоподобным углеродным покрытием (DLC), а со стороны, обращенной к приемнику излучения, отражающим покрытием, отличающийся тем, что алмазоподобное углеродное покрытие нанесено на всю поверхность кантилевера и состоит, по крайней мере, из одного нелегированного и одного легированного азотом слоя, толщина каждого легированного и нелегированного слоя составляет от 15 до 50 нм, общая толщина наноразмерного алмазоподобного углеродного покрытия составляет 30-100 нм, при этом покрытие выполнено с возможностью регулирования электропроводности в пределах от 0,15 до 10 (1/Ом·см) за счет изменения толщины отдельных слоев. 2. Кантилевер для токовой нанолитографии по п. 1, отличающийся тем, что форма балки может быть выполнена как в прямоугольном, так и в V-образном виде.

Дата регистрации охранного документа:	10.01.2014
№ охранного документа:	136563
Автор(ы):	Колпаков Александр Яковлевич (RU),, Поплавский Александр Иосифович (RU),, Сафронова Ольга Вениаминовна (RU)
№ заявки:	2013143965
Дата приоритета:	30.09.2013
Описание изобретения:	Перейти
Подразделение БелГУ:	НИЛ проблем разработки и внедрения ионно-плазменных технологий
Охранный документ:	Загрузить