ВАКУУМНОЕ ЭЛЕКТРОДУГОВОЕ УСТРОЙСТВО

Изобретение относится к вакуумно- электродуговому устройству для нанесения высококачественных покрытий и может быть использовано в машиностроении, инструментальной, электронной, оптической и других отраслях промышленности для модификации поверхностей материалов. Устройство включает источник плазмы с фокусирующей электромагнитной катушкой (3), который присоединен к плазмоводу (4), охваченному отклоняющими электромагнитными катушками (ОЭК), выполненными с возможностью поворота вокруг пересекающего их радиус-вектора кривизны плазменного канала как по часовой стрелке, так и против часовой стрелки. ОЭК (5), охватывающая входное отверстие плазмовода (4), выполнена с возможностью поворота относительно плоскости этого отверстия на 10-40 градусов. Диагональная ОЭК (6) выполнена с возможностью поворота относительно поперечного сечения плазмовода в месте охвата на 5-30 градусов. Выходная катушка (7) выполнена с возможностью поворота относительно плоскости выходного отверстия на 3-15 градусов. Дополнительные ОЭК установлены по обе стороны от диагональной с возможностью поворота на промежуточные углы таким образом, чтобы угол поворота ОЭК от первой до выходной монотонно уменьшался. Использование устройства позволит повысить коэффициент пропускания криволинейного плазменного фильтра и увеличить ионный ток на выходе фильтра в 1,5-1,7 раза, т.е. до 4-5% от тока дугового разряда, что в конечном итоге повышает производительность напыления.

Дата регистрации охранного документа:	20.09.2007
№ охранного документа:	2306366
Автор(ы):	Чеканов Николай Александрович (RU),, Тимошенко Александр Иванович (UA),, Таран Валерий Семенович (UA)
№ заявки:	2006113871
Дата приоритета:	24.04.2006
Описание изобретения:	Перейти
Охранный документ:	Загрузить