Газовый датчик

Газовый датчик, содержащий электроизолирующую подложку из кремния, покрытую слоем диоксида кремния, с размещенными на ней выполненными в виде резисторов типа "меандр" микронагревателем и термодатчиком, электродами встречно-штыревой конструкции для газочувствительного слоя и газочувствительным слоем, отличающийся тем, что основным элементом датчика является пленочная двухсторонняя трубчатая структура, каркас которой выполнен из встречно-штыревых электродов, свернутых в полую трубку О- или С-образного сечения; а газочувствительный слой из металлооксидного полупроводника SnO2 нанесен на каркас из электродов встречно-штыревой конструкции с двух сторон; причем первый газочувствительный слой в виде пленки из металлооксидного полупроводника SnO2 расположен на внутренней поверхности пленочной двухсторонней трубчатой структуры, а второй газочувствительный слой в виде пленки из металлооксидного полупроводника SnO2 расположен на внешней поверхности пленочной двухсторонней трубчатой структуры.

Дата регистрации охранного документа:	27.07.2011
№ охранного документа:	106955
Автор(ы):	Захвалинский Василий Сергеевич, Пилюк Евгений Александрович
№ заявки:	2011106427
Дата приоритета:	21.02.2011
Описание изобретения:	Перейти
Подразделение БелГУ:	Кафедра общей и прикладной физики
Охранный документ:	Загрузить